[实用新型]一种检测三氯氢硅合成炉尾气的装置有效
| 申请号： | 201320733512.X | 申请日： | 2013-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN203616189U | 公开（公告）日： | 2014-05-28 |
| 发明（设计）人： | 周连会 | 申请（专利权）人： | 唐山三孚硅业股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/42 | 分类号： | G01N1/42;G01N33/00 |
| 代理公司： | 石家庄冀科专利商标事务所有限公司 13108 | 代理人： | 李桂芳 |
| 地址： | 063305*** | 国省代码： | 河北;13 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种检测三氯氢硅合成炉尾气的装置，属于三氯氢硅合成设备技术领域，用于检测合成炉的尾气中的不凝气含量。其技术方案是：它包括一台盐水冷凝器，在盐水冷凝器外有保温层，盐水冷凝器的进气口与三氯氢硅合成炉的尾气出口相连接，盐水冷凝器的出气口连接尾气取样管，盐水冷凝器与多个三氯氢硅合成炉的尾气出口相连接，在各个三氯氢硅合成炉的尾气出口管道上安装有合成炉尾气阀门。本实用新型将高温的合成炉尾气进入盐水冷凝器冷凝后，不凝气由取样口取出，合成炉尾气阀门可以控制需检测的合成炉，反应不好的合成炉可停车检修，避免长期使用造成成本的浪费。本实用新型结构简单、制作容易、成本低，能有效地解决三氯氢硅合成炉尾气检测的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 检测 三氯氢硅 合成 尾气 装置 | ||
【主权项】：
一种检测三氯氢硅合成炉尾气的装置，其特征在于：它的构成中包括一台盐水冷凝器（1），在盐水冷凝器（1）外有保温层（2），盐水冷凝器（1）的进气口与三氯氢硅合成炉的尾气出口相连接，盐水冷凝器（1）的出气口连接尾气取样管（4），尾气取样管（4）处有通气孔。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于唐山三孚硅业股份有限公司，未经唐山三孚硅业股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201320733512.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：改进的氩弧焊枪冷却工件的装置
- 下一篇：一种重型弯管焊接装置
