[实用新型]一种用于硅烷法多晶硅生产的节涌床式硅烷分解炉有效
| 申请号： | 201320735467.1 | 申请日： | 2013-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN203558858U | 公开（公告）日： | 2014-04-23 |
| 发明（设计）人： | 李耀文;耿彩军;刘斌;张增玉;孙佳杰 | 申请（专利权）人： | 李耀文 |
| 主分类号： | C01B33/03 | 分类号： | C01B33/03 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100071 北京市丰*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于硅烷法多晶硅生产的节涌床式硅烷分解炉，其包括一分解炉炉体；于所述分解炉炉体内设有一内衬层；于所述分解炉炉体的外表面包裹一层保温隔热棉；于所述保温隔热棉内设有一电加热器；所述分解炉炉体内的下端设布气板；于所述布气板上设有若干出气管。本实用新型的用于硅烷法多晶硅生产的节涌床式硅烷分解炉利用电加热器加热，给硅烷分解提供热量，加热器间接加热炉体的内衬层，防止了污染；利用布气板使气体混合均匀，通过控制进气量，使炉体内床层处于节涌状态，保证了硅烷分解的温度和浓度，预防了粘壁，同时降低了磨损，且设备简单易控。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 硅烷 多晶 生产 节涌床式 分解 | ||
【主权项】：
一种用于硅烷法多晶硅生产的节涌床式硅烷分解炉，其特征在于：包括一分解炉炉体；于所述分解炉炉体内设有一内衬层；于所述分解炉炉体的外表面包裹一层保温隔热棉；于所述保温隔热棉内设有一电加热器；所述分解炉炉体内的下端设布气板；于所述布气板上设有若干出气管。
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