[实用新型]环形导轨内凹槽面的光学检测装置

摘要

本实用新型公开一种环形导轨内凹槽面的光学检测装置，所述内凹槽面沿环形导轨周向且位于内侧或外侧，其聚光凸透镜位于激光器和准直凸透镜之间且聚光凸透镜的焦点与准直凸透镜的焦点重合；分束镜位于聚光凸透镜和准直凸透镜之间，用于将来自准直凸透镜的光线分为第一光束和第二光束；所述参考透镜位于准直凸透镜与分束镜相背的一侧，该参考透镜与准直凸透镜相对的表面为凸面，此参考透镜与凸面相背的表面为标准球面；所述圆锥反射镜位于待检测所述环形导轨内，且圆锥反射镜的旋转轴与环形导轨与参考透镜各自的轴线重合。本实用新型能一次性获得全部立体环形导轨内凹槽面形貌信息，同时也大大提高了测试效率、精度和可靠性。

主权项

一种环形导轨内凹槽面的光学检测装置，所述内凹槽面（1）沿环形导轨（2）周向且位于内侧，其特征在于：包括激光器（3）、聚光凸透镜（4）、分束镜（5）、作为物镜的准直凸透镜（6）、参考透镜（7）和圆锥反射镜（8），所述聚光凸透镜（4）位于激光器（3）和准直凸透镜（6）之间且聚光凸透镜（4）的焦点与准直凸透镜（6）的焦点重合；所述分束镜（5）位于聚光凸透镜（4）和准直凸透镜（6）之间，用于将来自准直凸透镜（6）的光线分为第一光束和第二光束；所述参考透镜（7）位于准直凸透镜（6）与分束镜（5）相背的一侧，该参考透镜（7）与准直凸透镜（6）相对的表面为凸面（71），此参考透镜（7）与凸面（71）相背的表面为标准球面（72）；所述圆锥反射镜（8）位于待检测所述环形导轨（2）内，且圆锥反射镜（8）的旋转轴与环形导轨（2）和参考透镜（7）各自的轴线重合，所述圆锥反射镜（8）的圆锥面（81）与环形导轨（2）的内凹槽面（1）面对面放置，来自参考透镜（7）的汇聚光线经圆锥反射镜（8）反射后形成的汇聚点与内凹槽面（1）的曲率中心重合； 干涉图样接收部件（9）位于所述分束镜（5）一侧，用于接收来自分束镜（5）的第二光束。