[实用新型]电子束熔炼高效去除多晶硅中杂质氧的装置

摘要

本实用新型属于多晶硅提纯领域，具体涉及一种电子束熔炼高效去除多晶硅中杂质氧的装置，打破了传统的电子束熔炼模式，不在熔炼坩埚内进行电子束熔炼，而是借用导流槽进行电子束除氧熔炼，由于硅液能够在导流区域内铺散，比表面积增大，因此电子束熔炼除氧效果更好。本实用新型的优点在于：（1）提出了电子束除氧的工艺方法和用途，解决了多晶硅中杂质氧去除的难题，氧含量可以降低于0.0571ppmw以下，满足太阳能电池对多晶硅铸锭含氧量的要求；（2）多晶硅料高效带状除氧技术可增大硅液表面积30%以上，缩短除氧时间20%以上；（3）可实现连续化生产，提高生产效率35%以上。

主权项

一种电子束熔炼高效去除多晶硅中杂质氧的装置，包括炉体，其特征在于炉体内上部设置带有水冷的导流槽，该导流槽自上向下倾斜，炉体侧壁通连有送料机构，该送料机构的出料口位于导流槽位于高处的一端上方；位于导流槽上方的炉体顶部通连有熔化用电子枪和熔炼用电子枪；导流槽的倾泻口下方的炉体内底部设置有凝固坩埚。