[实用新型]串联式超高速精密定位一维平台有效
| 申请号： | 201320751959.X | 申请日： | 2013-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN203615016U | 公开（公告）日： | 2014-05-28 |
| 发明（设计）人： | 张璐凡;隆志力;方纪文;念龙生;李泽湘 | 申请（专利权）人： | 东莞华中科技大学制造工程研究院 |
| 主分类号： | F16M11/18 | 分类号： | F16M11/18;F16F15/02;F16F15/04;G12B5/00 |
| 代理公司： | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 | 代理人： | 黄冠华 |
| 地址： | 523000 广东省东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种串联式超高速精密定位一维平台，包括基座、相互串联的第一电机和第二电机、由所述第一电机及第二电机驱动的补偿定位平台，所述第一电机和第二电机分别通过减振装置安装到所述基座上，所述补偿定位平台包括定位平台、与所述基座固定连接的平台底座、与所述平台底座通过第一导轨连接的柔性平台，所属柔性平台具有压电致动器及与所述压电致动器连接的柔性铰链，所述定位平台位于所述柔性平台上并与所述柔性铰链连接，所述平台底座两侧设有运动测量光栅尺，该串联式超高速精密定位一维平台解决了现有技术无法突破更高加速的精密定位问题。 | ||
| 搜索关键词： | 串联式 超高速 精密 定位 平台 | ||
【主权项】：
一种串联式超高速精密定位一维平台，其特征在于，包括基座、相互串联的第一电机和第二电机、由所述第一电机及第二电机驱动的补偿定位平台，所述第一电机和第二电机分别通过减振装置安装到所述基座上，所述补偿定位平台包括定位平台、与所述基座固定连接的平台底座、与所述平台底座通过第一导轨连接的柔性平台，所述柔性平台具有压电致动器及与所述压电致动器连接的柔性铰链，所述定位平台位于所述柔性平台上并与所述柔性铰链连接，所述平台底座两侧设有运动测量光栅尺。
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