[实用新型]一种颗粒材料表面等离子体处理装置有效
| 申请号： | 201320755495.X | 申请日： | 2013-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN203562393U | 公开（公告）日： | 2014-04-23 |
| 发明（设计）人： | 沈文凯;王红卫 | 申请（专利权）人： | 苏州市奥普斯等离子体科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 | 代理人： | 孟宏伟 |
| 地址： | 215011 江苏省苏州市苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种颗粒材料表面等离子体处理装置，包括外壳、电源、电极组件、震动盘和与所述震动盘连接的震动机构，所述外壳上方可拆卸设置有盖体，所述外壳壁体上设置有用于反应气体进入外壳内的气体入口和用于抽真空的抽气口，所述外壳内设置有反应腔室，所述电极组件设置于所述反应腔室内并与所述电源连接，所述震动盘设置于所述反应腔室内。本实用新型中电极组件通电形成高频电场将反应气体电离，颗粒材料在高频电场中进行表面处理，并且结合震动盘震动，颗粒材料在震动下翻转，可实现均匀处理，处理效果好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 颗粒 材料 表面 等离子体 处理 装置 | ||
【主权项】：
一种颗粒材料表面等离子体处理装置，其特征在于，包括外壳、电源、电极组件、震动盘和与所述震动盘连接的震动机构，所述外壳上方可拆卸设置有盖体，所述外壳壁体上设置有用于反应气体进入外壳内的气体入口和用于抽真空的抽气口，所述外壳内设置有反应腔室，所述电极组件设置于所述反应腔室内并与所述电源连接，所述震动盘设置于所述反应腔室内。
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