[实用新型]一种连续材料表面常压等离子体处理装置有效
申请号: | 201320756432.6 | 申请日: | 2013-11-27 |
公开(公告)号: | CN203562395U | 公开(公告)日: | 2014-04-23 |
发明(设计)人: | 沈文凯;王红卫 | 申请(专利权)人: | 苏州市奥普斯等离子体科技有限公司 |
主分类号: | H01J37/32 | 分类号: | H01J37/32 |
代理公司: | 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 | 代理人: | 孟宏伟 |
地址: | 215011 江苏省苏州市苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种连续材料表面常压等离子体处理装置,包括外壳、传动装置、沿进料方向设置的至少一个金属电极组和与所述金属电极组连接的电源,所述外壳下方开口,所述传动装置设置于所述外壳内,所述金属电极组为一对竖直设置于所述外壳内的平板电极并且所述金属电极组设置于所述传动装置之间,所述外壳壁体上开设有用于反应气体进入外壳内的气体入口。本实用新型中反应气体从气体入口进入外壳内,金属电极组通电将反应气体电离,连续材料通过传动装置沿进料方向穿过金属电极组之间进行表面处理,实现了连续材料无间断的表面处理,结构简单,成本低。 | ||
搜索关键词: | 一种 连续 材料 表面 常压 等离子体 处理 装置 | ||
【主权项】:
一种连续材料表面常压等离子体处理装置,其特征在于,包括外壳、传动装置、沿进料方向设置的至少一个金属电极组和与所述金属电极组连接的电源,所述外壳下方开口,所述外壳内设置反应腔室,所述传动装置设置于所述反应腔室内,所述金属电极组为一对竖直设置于所述反应腔室内的平板电极并且所述金属电极组设置于所述传动装置之间,所述金属电极组的平板电极外侧设置有绝缘板,所述外壳壁体上开设有用于反应气体进入反应腔室内的气体入口。
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