[实用新型]一种光纤阵列U槽结构有效
申请号: | 201320771206.5 | 申请日: | 2013-12-01 |
公开(公告)号: | CN203587830U | 公开(公告)日: | 2014-05-07 |
发明(设计)人: | 吕耀安;翟继鑫 | 申请(专利权)人: | 无锡宏纳科技有限公司 |
主分类号: | G02B6/12 | 分类号: | G02B6/12 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 214135 江苏省无锡市新区清*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种光纤阵列U槽结构,其特征在于:由若干个在石英基片上平行排列的凹槽与倒梯型结构组成。所述的凹槽为长方体形状,可以保证在后续粘胶的过程中,胶不会溢出且可以将上盖板与下面器件粘合在一起。所述的凹槽内部沉积一层厚度为0.1-1微米的铬层。所述的倒梯型结构为位于凹槽中间,其上端宽度小于凹槽宽度,系用氢氟酸在凹槽中用腐蚀所得。所述的倒梯型结构的两个倾斜边夹角为90-100度,深度为50-60微米,用来卡住光纤,将光纤固定。本实用新型解决了现有技术中的V型槽都是用金钢刀划出的,成本高,对于多通道器件制作精度低等技术问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 光纤 阵列 结构 | ||
【主权项】:
一种光纤阵列U槽结构,其特征在于:由若干个在石英基片上平行排列的凹槽与倒梯型结构组成,各凹槽的中心间隔为50‑100微米。
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