[实用新型]用于制备黄铜矿型薄膜太阳电池吸收层的退火设备

摘要

本实用新型涉及一种用于制备黄铜矿型薄膜太阳电池吸收层的退火设备，包括：连续补料单元，其包括硫族介质发生装置和与该装置连通的载气供给通路，硫族介质发生装置包括硫族介质源以及加热硫族介质源的加热单元，硫族介质包括硫和/或硒，载气供给通路利用其中的载气使蒸发态硫族介质沿着载气流动方向行进；与载气供给通路连通的等离子体产生活化单元；以及与等离子体产生活化单元连通的硒化/硫化退火单元，硫族元素等离子体进入硒化/硫化退火单元并与位于其中的预制膜反应进行硒化/硫化退火。本实用新型的退火设备可以增加硒硫粒子化学活性，辅助增强其硒硫化作用，加快硒化、硫化的速度，提高黄铜矿型薄膜成膜质量。

主权项

一种用于制备黄铜矿型薄膜太阳电池吸收层的退火设备，其特征在于，包括： 用于连续供给蒸发态的硫族介质的连续补料单元，所述连续补料单元包括硫族介质发生装置以及与所述硫族介质发生装置连通的载气供给通路，所述硫族介质发生装置包括硫族介质源、以及用于加热所述硫族介质源以产生蒸发态的硫族介质的加热单元，所述硫族介质包括硫和/或硒，所述载气供给通路利用其中的载气使所述蒸发态的硫族介质沿着载气流动的方向行进；与所述载气供给通路连通的等离子体产生活化单元，所述等离子体产生活化单元能够产生高能电子，所述高能电子与进入所述等离子体产生活化单元的硫族介质碰撞通过电感耦合辉光放电产生硫族元素等离子体；以及与所述等离子体产生活化单元连通的硒化/硫化退火单元，所述等离子体产生活化单元产生的硫族元素等离子体进入所述硒化/硫化退火单元并与位于其中的预制膜反应进行硒化/硫化退火以制备黄铜矿型薄膜。