[实用新型]透过波长3700nm以上的航空尾气气体检测滤光片有效

专利信息
申请号: 201320777703.6 申请日: 2013-11-29
公开(公告)号: CN203551818U 公开(公告)日: 2014-04-16
发明(设计)人: 王继平;吕晶;胡伟琴 申请(专利权)人: 杭州麦乐克电子科技有限公司
主分类号: G02B5/20 分类号: G02B5/20
代理公司: 杭州斯可睿专利事务所有限公司 33241 代理人: 周豪靖
地址: 311188 浙江省杭州市*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 实用新型所设计的一种测试精度高、能极大提高信噪比的透过波长3700nm以上的航空尾气气体检测滤光片,包括以Ge为原材料的基板,以Si、SiO为第一镀膜层和以Ge、SiO为第二镀膜层,且所述基板位于第一镀膜层和第二镀膜层之间,该透过波长3700nm以上的航空尾气气体检测滤光片,其在航空尾气气体检测过程中,可大大的提高信噪比,提高测试精准度。该滤光片50%Cut on=3700±50nm,3960~4800nm、Tavg≥90%,1600~3420nm、T≤1.5%、Tavg≤1%,1600~2450nm、Ravg≥85%;4200~4800nm、Ravg≤10%。
搜索关键词: 透过 波长 3700 nm 以上 航空 尾气 气体 检测 滤光
【主权项】:
一种透过波长3700nm以上的航空尾气气体检测滤光片,包括以Ge为原材料的基板,以Si、SiO为第一镀膜层和以Ge、SiO为第二镀膜层,且所述基板位于第一镀膜层和第二镀膜层之间,其特征是:所述第一镀膜层由内向外依次排列包含有:165nm厚度的SiO层、224nm厚度的Si层、430nm厚度的SiO层、186nm厚度的Si层、427nm厚度的SiO层、204nm厚度的Si层、432nm厚度的SiO层、209nm厚度的Si层、420nm厚度的SiO层、203nm厚度的Si层、413nm厚度的SiO层、196nm厚度的Si层、246nm厚度的SiO层、113nm厚度的Si层、269nm厚度的SiO层、142nm厚度的Si层、426nm厚度的SiO层、158nm厚度的Si层、241nm厚度的SiO层、124nm厚度的Si层、268nm厚度的SiO层、144nm厚度的Si层、248nm厚度的SiO层、125nm厚度的Si层、244nm厚度的SiO层、141nm厚度的Si层、281nm厚度的SiO层、122nm厚度的Si层、198nm厚度的SiO层、168nm厚度的Si层、152nm厚度的SiO层、44nm厚度的Si层和579nm厚度的SiO层;所述第二镀膜层由内向外依次排列包含有:133nm厚度的Ge层、47nm厚度的SiO层、106nm厚度的Ge层、111nm厚度的SiO层、47nm厚度的Ge层、271nm厚度的SiO层、12nm厚度的Ge层和496nm厚度的SiO层。
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