[实用新型]一种直拉单晶硅的掺杂装置

摘要

本实用新型公开一种直拉单晶硅的掺杂装置，其装置包含括支撑架(2)、与支撑架滑竿相嵌套的滑动装置(1)、与支撑架(2)和滑动装置相连的掺杂容器(3)、用于连接的连接绳或连接杆(4)。该装置能够实现直拉单晶硅生长的快速准确掺杂，适用于实际生产环节。

主权项

一种直拉单晶硅的掺杂装置，包括：支撑架(2)、与支撑架滑竿相嵌套的滑动装置(1)、与支撑架和滑动装置相连的掺杂容器(3)、用于连接的连接绳或连接杆(4)；其特征在于：所述支撑架设有支撑面板(2‑1)，支撑面板(3‑1)边缘下方设有3根与支撑面板(2‑1)固定相连支撑杆(2‑3)，支撑面板(2‑1)中部下方设有2根有下限位的垂直滑竿(2‑2)，垂直滑竿(2‑2)与支撑面板(2‑1)以螺纹连接方式固定，支撑面板(2‑1)中部设有第一通孔(2—4)；所述滑动装置(1)设有悬挂杆(1‑1)，悬挂杆(1‑1)通过支撑架通孔(2‑4)贯穿支撑面板(2‑1)，悬挂杆(1‑1)上部设有锲型槽，用于与单晶炉籽晶夹持装置固定相连用，悬挂杆下部设有与悬挂杆固定相连的滑块(1—2)，滑块设有第二和第三通孔(1—3)，用于与支撑架滑竿垂直(2‑2)滑动时使用，使得滑动装置(1)能沿着垂直滑竿(2‑2)方向滑动，滑块(1‑2)接触到垂直滑竿(2‑2)末端下限位时，滑块停止下滑；所述掺杂容器(3)包括可分离的容器上盖(3—1)、容器中部(3‑2)、容器底部(3—3)，容器上盖设有第四通孔(3‑4)，容器上盖(3‑1)置于容器中部(3‑2)上口，容器中部(3‑2)通过连接绳或连接杆(4)与支撑架垂直滑竿(2‑2)固定垂直相连，容器底部(3‑3)通过连接绳或连接杆(4)穿过容器上盖(3—1)第四通孔(3‑4)与滑动装置(1)底部固定垂直相连。