[实用新型]一种用于太阳能电池片生产的链式设备传输轨道有效
| 申请号： | 201320799194.7 | 申请日： | 2013-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN203644743U | 公开（公告）日： | 2014-06-11 |
| 发明（设计）人： | 张小盼;赵强;赵学玲;范志东 | 申请（专利权）人： | 保定天威英利新能源有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王淑丽 |
| 地址： | 071051 河北*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 一种用于太阳能电池片生产的链式设备传输轨道，包括杆状的传动轴和由传动轴带动旋转的滚轮，且所述滚轮在传动轴上的位置可调节。本实用新型通过设计滚轮位置可以任意调整的传输轨道，使各轨道滚轮处于不同的直线上，避免硅片从设备装载区到卸载一端滚轮一直处于硅片上相对固定的位置，使硅片各处都能受到均匀腐蚀，避免了太阳电池表面滚轮印痕的产生，提高了电池的性能和外观质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 太阳能电池 生产 链式 设备 传输 轨道 | ||
【主权项】：
一种用于太阳能电池片生产的链式设备传输轨道，其特征在于，包括杆状的传动轴和由传动轴带动旋转的滚轮，且所述滚轮在传动轴上的位置可调节，所述传动轴设置有轴向的卡槽，所述滚轮包括环状轮和设置在环状轮内侧的卡合部，所述卡合部卡合安装在卡槽内。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
