[实用新型]研磨垫调整器有效
| 申请号： | 201320805343.6 | 申请日： | 2013-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN203622204U | 公开（公告）日： | 2014-06-04 |
| 发明（设计）人： | 唐强 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | B24B53/017 | 分类号： | B24B53/017 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提出了一种研磨垫调整器，用于对研磨垫进行修整，包括衬底、位于衬底表面的多个调整颗粒以及用于将所述调整颗粒固定在所述衬底表面的连接物，所述衬底的边缘设有凹陷区。使用衬底边缘设有凹陷区的研磨垫调整器，由于所述衬底边缘存在凹陷区，位于所述凹陷区的调整颗粒位置较低，与研磨垫的接触面较少，能够抵消衬底边缘线速度过大而造成与研磨垫的过度摩擦，同时还能降低衬底边缘调整颗粒脱落的几率，避免对待研磨晶圆造成刮伤。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 调整器 | ||
【主权项】：
一种研磨垫调整器，用于对研磨垫进行修整，其特征在于，所述研磨垫调整器包括衬底、位于衬底表面的多个调整颗粒以及用于将所述调整颗粒固定在所述衬底表面的连接物，其中，所述衬底的边缘设有凹陷区。
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