[实用新型]一种高性能溅射靶材组件的结构有效
| 申请号： | 201320805376.0 | 申请日： | 2013-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN203700498U | 公开（公告）日： | 2014-07-09 |
| 发明（设计）人： | 何金江;刘书芹;周辰;万小勇;陈明;熊晓东;王兴权 | 申请（专利权）人： | 有研亿金新材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人： | 薄观玖 |
| 地址： | 102200*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型属于靶材制造领域，特别涉及一种高性能溅射靶材组件的结构。本实用新型背板其中1个表面上设置有环形凹槽，环形凹槽的圆心部分是设置在背板上的中心凸台，在靶坯的对应表面设置相应的环形凸台和心部凹槽，靶坯与背板通过焊接复合成组件。本实用新型靶坯背面的圆环凸台，能够增加靶坯的溅射厚度，因此，在溅射过程中靶材利用率得到显著提高，使用寿命增加；焊接前靶坯背面心部凹槽与背板上的凸台有少量高度差，便于焊接前气体的快速排出，提高靶材焊接性能；在靶坯溅射面通过增加凹槽，提高溅射面表面积，有利于靶材溅射过程中的均匀消耗，提高靶材的成膜质量，延长使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 性能 溅射 组件 结构 | ||
【主权项】：
一种高性能溅射靶材组件的结构，其特征在于：背板（4）其中1个表面上设置有环形凹槽（41），环形凹槽（41）的圆心部分是设置在背板（4）上的中心凸台（42），在靶坯（3）的对应表面设置相应的环形凸台（31）和心部凹槽（32），靶坯（3）与背板（4）通过焊接复合成组件。
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