[实用新型]磁镜场真空电弧过滤器有效
| 申请号： | 201320807631.5 | 申请日： | 2013-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN203613252U | 公开（公告）日： | 2014-05-28 |
| 发明（设计）人： | 陈大民 | 申请（专利权）人： | 陈大民 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 116600 辽宁省大连*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型属于一种磁镜场真空电弧过滤器，包括过滤器壳体（11）、磁过滤筒（12）、等离子体约束区（4）和等离子体逸出区（6），其特征在于在等离子体约束区（4）左端的磁过滤筒（12）与过滤器壳体（11）之间装有磁镜线圈A（3），在等离子体约束区（4）右端的磁过滤筒（12）与过滤器壳体（11）之间装有磁镜线圈B（5），磁镜线圈B（5）装在等离子体逸出区（6）的圆周上。该实用新型粒子得到充分碰撞，液滴及非磁化粒团的沉降空间大，使出口的粒子得到充分细化，镀膜质量好。 | ||
| 搜索关键词： | 磁镜 真空 电弧 过滤器 | ||
【主权项】：
一种磁镜场真空电弧过滤器，包括过滤器壳体（11）、磁过滤筒（12）、等离子体约束区（4）和等离子体逸出区（6），其特征在于在等离子体约束区（4）左端的磁过滤筒（12）与过滤器壳体（11）之间装有磁镜线圈A（3），在等离子体约束区（4）右端的磁过滤筒（12）与过滤器壳体（11）之间装有磁镜线圈B（5），磁镜线圈B（5）装在等离子体逸出区（6）的圆周上。
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