[实用新型]一种高频感应加热的硅烷分解炉有效
| 申请号： | 201320825205.4 | 申请日： | 2013-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN203593625U | 公开（公告）日： | 2014-05-14 |
| 发明（设计）人： | 李耀文;耿彩军;刘斌;孙佳杰;张增玉 | 申请（专利权）人： | 李耀文 |
| 主分类号： | C01B33/027 | 分类号： | C01B33/027 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100071 北京市丰*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种高频感应加热的硅烷分解炉，其包括分解炉筒体、加芯热棒、感应线圈以及高频感应配电箱；其中，所述加芯热棒收容于分解炉筒体内，其外表面设有一层耐磨耐高温材料层，于加热芯棒内设有冷却水管；所述感应线圈设置于分解炉筒体内，其通过冷却密封组件与高频感应配电箱相连接；所述加芯热棒插入感应线圈内；所述高频感应配电箱安装于分解炉筒体的一侧。本实用新型的高频感应加热的硅烷分解炉利用高频感应加热的原理，对微硅粉进行加热使其熔化，利用硅液珠将热量传递给硅烷气体使其分解，实现了微硅粉的再利用；同时，耐磨耐高温材料层以及碳化硅内衬组件能防止物料和金属接触，避免了污染，从而提高了产品纯度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高频 感应 加热 硅烷 分解 | ||
【主权项】：
一种高频感应加热的硅烷分解炉，其特征在于：包括分解炉筒体、加芯热棒、感应线圈以及高频感应配电箱；其中，所述加芯热棒收容于分解炉筒体内，其外表面设有一层耐磨耐高温材料层，于加热芯棒内设有冷却水管；所述感应线圈设置于分解炉筒体内，其通过冷却密封组件与高频感应配电箱相连接；所述加芯热棒插入感应线圈内；所述高频感应配电箱安装于分解炉筒体的一侧。
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