[实用新型]一种基片运输装置

摘要

本实用新型公开了一种基片运输装置，其包括：一传送系统和一装片系统，装片系统安装在传送系统上，传送系统包括传送系统包括轨道和至少一个传送车，传送车在轨道上运行；一装片系统，装片系统安装在传送系统的车架上，装片系统包括一固定组件和一调节组件，调节组件安装在固定组件上，通过调节调节组件的位置安装不同规格的基片。与现有技术相比，该基片运输装置采用传送系统与装片系统配合来传送基片，基片安全稳固安装，通过传送车高效快速传送，装片系统结构简单，通过调节调节梁适用于多种不同规格的基片安装，延长整个基片运输装置的使用寿命，节约资源，因此其应用前景十分广阔。

主权项

一种基片运输装置，其特征在于，包括： 一传送系统，所述传送系统包括一轨道和至少一个传送车，所述传送车在所述轨道上运行，所述传送车进一步包括一车架、一车轮对、一电驱动件、一升压变压器和至少两个电极引入件，所述车轮对在所述轨道上运行，所述车架固定在所述车轮对上，所述电驱动件与所述车轮对电连接，所述电驱动件、升压变压器和电极引入件安装在所述车架上；和 一装片系统，所述装片系统安装在所述传送系统的车架上，所述装片系统包括一固定组件和一调节组件，所述调节组件安装在所述固定组件上，通过调节所述调节组件的位置安装不同规格的基片。