[实用新型]一种调温装置

摘要

本实用新型公开了一种调温装置，包括一固定组件和一调温组件，调温组件安装在固定组件上，固定组件包括一固定板和至少两个定位座，定位座固定在固定板上；调温组件包括一加热器、一冷却器和一控制器，加热器和冷却器与控制器连接，加热器和冷却器安装在固定组件的定位座上。与现有技术相比，该调温装置设置在镀膜生产线的加热腔和冷却腔内，对真空镀膜生产线中的基片进行加热或冷却，利于基片镀膜，设有加热组件和冷却组件，通过控制器合适选择加热或冷却，加热和冷却互不影响，当镀膜流水线中各腔室的位置依据生产需要调换时，基片的加热腔和冷却腔不需要调换，节约人力物力，因此其应用前景十分广阔。

主权项

一种调温装置，其特征在于，包括：一固定组件，所述固定组件包括一固定板和至少两个定位座，所述定位座固定在所述固定板上；和 一调温组件，所述调温组件安装在所述固定组件上，所述调温组件包括一加热器、一冷却器和一控制器，所述加热器和冷却器与所述控制器连接，所述加热器和冷却器安装在所述固定组件的定位座上； 所述加热器进一步包括一加热管道和一加热件，所述加热件设置在所述加热管道内； 所述冷却器包括一冷却管道和一冷却件，所述冷却件与所述冷却管道连接； 所述定位座包括至少一个安置槽和至少一个隔离桩，所述安置槽和所述隔离桩交叉放置，每两个安置槽中间为一隔离桩，每两个隔离柱中间为一安置槽；所述加热管道和所述冷却管道安装在所述定位座的安置槽上。