[实用新型]一种变方阻薄膜电阻网络

摘要

一种变方阻薄膜电阻网络，涉及器件和信号测量领域，使用多晶硅薄膜电阻技术和表面微加工技术制作，包括中心薄膜电阻、旁路薄膜电阻、信号传输线以及地线共同形成的完整信号通路，如T型/π型网络，为了获得较大的衰减量，中心电阻和旁路电阻的差值非常大，采用相同方阻会带来尺寸跃变问题，本实用新型通过控制离子注入工艺条件，使中心薄膜电阻和旁路薄膜电阻具有不同的杂质元素浓度，从而获得不同的方块电阻，有效调节了大幅度调整信号时电阻网络的长宽尺寸，同时，可以采用上述原理使相同尺寸的电阻网络具有不同的调整功能，与现有电阻网络相比，本实用新型能够节约结构面积，减小引入的寄生效应。

主权项

一种变方阻薄膜电阻网络，其特征在于，包括： 衬底； 设置于衬底上的缓冲隔离层； 设置于缓冲隔离层上的中心薄膜电阻和旁路薄膜电阻； 以及设置于缓冲隔离层上的由信号传输线及地线组成的连接中心薄膜电阻和旁路薄膜电阻的信号通路； 其中，所述中心薄膜电阻和旁路薄膜电阻具有不同的方块电阻，通过信号传输线及地线相连形成完整的信号通路。