[实用新型]一种化学机械研磨装置有效
| 申请号： | 201320833842.6 | 申请日： | 2013-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN203680027U | 公开（公告）日： | 2014-07-02 |
| 发明（设计）人： | 唐强;洪中山 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/20 | 分类号： | B24B37/20;B24B37/34 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人： | 李仪萍 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种化学机械研磨装置，所述化学机械研磨装置至少包括：用于承载晶圆的研磨平台；位于所述研磨平台上的环形电磁铁以及收容于所述环形电磁铁内并与之间隔的实心电磁铁；所述环形电磁铁和实心电磁铁分别连接电源；位于所述环形电磁铁和实心电磁铁上的弹性材料层；位于所述弹性材料层上与所述环形电磁铁和实心电磁铁分别对应的环形衔铁和实心衔铁以及位于所述环形衔铁和实心衔铁上的研磨垫；研磨垫上表面具有用于分布研磨液的沟槽。该装置可自动变化研磨垫沟槽深浅，因此可对不同的晶圆进行选择性研磨，提高了产品的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 化学 机械 研磨 装置 | ||
【主权项】：
一种化学机械研磨装置，其特征在于，所述化学机械研磨装置至少包括：用于承载晶圆的研磨平台；位于所述研磨平台上的环形电磁铁以及收容于所述环形电磁铁内并与之间隔的实心电磁铁；所述环形电磁铁和实心电磁铁分别连接电源；位于所述环形电磁铁和实心电磁铁上的弹性材料层；位于所述弹性材料层上与所述环形电磁铁和实心电磁铁分别对应的环形衔铁和实心衔铁；以及位于所述环形衔铁和实心衔铁上的研磨垫。
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