[实用新型]一种在线超纯氢分析装置

摘要

本实用新型公开了一种在线超纯氢分析装置，该装置包括样品气切换阀、切换进样阀、进样阀、分析色谱柱、检测器等组成，可以对超纯氢生产过程中的原料气和产品气同时进行在线分析，检测范围大，可以覆盖从常量检测、微量检测到ppb级的痕量检测。本装置自动化程度高、检测范围大、灵敏度高，在超纯氢生产中可对产品气杂质含量和原料气含量进行同时在线分析。

主权项

一种在线超纯氢分析装置，主要由切换阀（3）、切换进样阀（4）、进样阀（5）、色谱柱、检测器组成，其特征在于：所述色谱柱分为第一色谱柱（6）、第二色谱柱（7）和第三色谱柱（8），检测器分为第一检测器（9）、第二检测器（10）和第三检测器（11）；所述第一色谱柱（6）的出口端与第一检测器（9）的样品入口端固定连接，形成第一检测单元；所述第二色谱柱（7）的出口端与第二检测器（10）的样品入口端固定连接，形成第二检测单元；所述第三色谱柱（8）的出口端与第三检测器（11）的样品入口端固定连接，形成第三检测单元；所述第一检测单元和第二检测单元的色谱柱入口并联并分别与切换进样阀（4）的出口相连；第三检测单元的色谱柱入口与进样阀（5）的出口相连；切换进样阀（4）的进口与进样阀（5）的进口与切换阀（3）的出口相连。