[实用新型]新型长晶炉有效
申请号: | 201320840655.0 | 申请日: | 2013-12-19 |
公开(公告)号: | CN203653751U | 公开(公告)日: | 2014-06-18 |
发明(设计)人: | 钟绍华;王禄堡 | 申请(专利权)人: | 镇江环太硅科技有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙) 31258 | 代理人: | 季萍 |
地址: | 212216 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种新型长晶炉,包括:炉体;位于所述炉体内的加热器,以及位于所述加热器热场内的坩埚,所述加热器包括上加热器和侧边加热器,所述上加热器位于所述坩埚的顶端,所述侧边加热器形成于所述坩埚的四周,所述上加热器的总功率大于所述侧边加热器的总功率。本实用新型通过调整上加热器和/或侧边加热器的电阻,以满足上加热器的总功率大于侧边加热器的总功率,最终达到多晶炉铸碇工艺提升所需的相对温差。因此,在熔化及长晶步骤时,上部相对热,侧边相对冷的情况下来降低坩埚本身杂质进入硅液或硅碇的浓度,并且维持整体加热器的加热效率。 | ||
搜索关键词: | 新型 长晶炉 | ||
【主权项】:
一种长晶炉,其特征在于,包括:炉体;位于所述炉体内的加热器,以及位于所述加热器热场内的坩埚,所述加热器包括上加热器和侧边加热器,所述上加热器位于所述坩埚的顶端,所述侧边加热器形成于所述坩埚的四周,所述上加热器的总功率大于所述侧边加热器的总功率。
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