[实用新型]基片装载架与磁导轨的连接结构有效

专利信息
申请号: 201320846858.0 申请日: 2013-12-20
公开(公告)号: CN203653687U 公开(公告)日: 2014-06-18
发明(设计)人: 任丹;刘月豹;王共志;杨向东 申请(专利权)人: 安徽省蚌埠华益导电膜玻璃有限公司
主分类号: C23C14/56 分类号: C23C14/56
代理公司: 蚌埠鼎力专利商标事务所有限公司 34102 代理人: 王琪
地址: 233010 安徽省蚌*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 实用新型公开一种基片装载架与磁导轨的连接结构,包括基片装载架、磁导轨和绝缘块,所述磁导轨上有第一螺纹孔,绝缘块上相应位置有沉孔,沉头螺钉通过沉孔和第一螺纹孔将绝缘块固定在磁导轨上;基片装载架上开有通孔,绝缘块相应位置处有第二螺纹孔,固定螺栓穿过通孔与第二螺纹孔配合,从而将装载架固定在绝缘块上,所述固定螺栓的螺帽与螺纹段之间有挡块,所述挡块的径向长度大于所述通孔的深度,所述固定螺栓的螺纹段径向长度小于第二螺纹孔的深度。本实用新型选用特定的固定螺栓,保证螺栓不会不接触磁导轨,可以避免因基片装载架短路而影响产品质量,也不会因磁导轨受热变形而影响生产。
搜索关键词: 装载 导轨 连接 结构
【主权项】:
基片装载架与磁导轨的连接结构,包括基片装载架、磁导轨、绝缘块,所述磁导轨上有第一螺纹孔,绝缘块上相应位置有沉孔,沉头螺钉通过沉孔和第一螺纹孔将绝缘块固定在磁导轨上;基片装载架上开有通孔,绝缘块相应位置处有第二螺纹孔,固定螺栓穿过通孔与第二螺纹孔配合,从而将装载架固定在绝缘块上,其特征在于:所述固定螺栓的螺帽与螺纹段之间有挡块,所述挡块的径向长度大于所述通孔的深度,所述固定螺栓的螺纹段径向长度小于第二螺纹孔的深度。
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