[实用新型]一种具有清洗装置的硅片加工设备

摘要

本实用新型提出了一种硅片加工设备，硅片加工设备包括工件盘和用于清洁工件盘的清洗装置，工件盘具有一个安放硅片的平坦表面和一个转轴以使工件盘旋转，清洗装置包括：刷盘，刷盘具有设置刷毛的清洁面，支架，支架的近端具有连接到硅片加工设备的连接部，支架的远端安装刷盘；刷盘的清洁面与工件盘的平坦表面相对，刷盘的清洁面大致平行于工件盘的平坦表面。采用根据本实用新型的硅片加工设备，有效地解决了磨削颗粒的二次沾污的问题，避免了残留的磨削颗粒对硅片的不利影响，有效地降低了批量生产时的硅片的平均裂纹率。

主权项

一种硅片加工设备，所述硅片加工设备包括工件盘和用于清洁工件盘的清洗装置，所工件盘具有一个安放硅片的平坦表面和一个转轴以使工件盘旋转，所述清洗装置包括：刷盘，所述刷盘具有设置刷毛的清洁面；支架，所述支架的近端具有连接到硅片加工设备的连接部，所述支架的远端安装刷盘；其特征在于，所述刷盘的清洁面与所述工件盘的所述平坦表面相对，所述刷盘的清洁面平行于工件盘的平坦表面。