[实用新型]一种微空心阴极等离子体处理装置有效
| 申请号： | 201320850822.X | 申请日： | 2013-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN203617246U | 公开（公告）日： | 2014-05-28 |
| 发明（设计）人： | 王红卫;沈文凯 | 申请（专利权）人： | 苏州市奥普斯等离子体科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 | 代理人： | 孟宏伟 |
| 地址： | 215011 江苏省苏州市苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种微空心阴极等离子体处理装置，包括电极组件、绝缘板和高频电源，所述电极组件包括相互平行设置的第一平板电极和第二平板电极，所述第一平板电极和第二平板电极之间还设置有绝缘板，所述第一平板电极与所述高频电源的负极电连接，所述第二平板电极与所述高频电源的正极电连接，所述第一平板电极、第二平板电极和绝缘板上分别贯穿设置有气孔，所述上部气孔直径尺寸小于所述下部气孔直径尺寸。本实用新型中反应气体从进入气孔，由于上部气孔直径尺寸小于下部气孔直径尺寸，电离后的反应气体进入下部气孔时向两侧溅射，从而形成高浓度离子，实现较大面积处理，提高处理效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 空心 阴极 等离子体 处理 装置 | ||
【主权项】：
一种微空心阴极等离子体处理装置，包括电极组件、绝缘板和高频电源，所述电极组件包括相互平行设置的第一平板电极和第二平板电极，所述绝缘板设置于所述第一平板电极和所述第二平板电极之间，所述第一平板电极与所述高频电源的负极电连接，所述第二平板电极与所述高频电源的正极电连接，其特征在于，所述第一平板电极、第二平板电极和绝缘板上分别贯穿设置有气孔，所述上部气孔直径尺寸小于所述下部气孔直径尺寸。
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