[实用新型]各区域冷却温度不同的衬底托盘

摘要

本实用新型公开一种各区域冷却温度不同的衬底托盘，上托盘设有中心凹位、凹位中圈和凹位外圈；下托盘设有的中心凹槽、凹槽中圈和凹槽外圈的位置与上托盘上的中心凹位、凹位中圈和凹位外圈相对应；横截面为阶梯形的密封圈设置在中心凹槽、凹槽中圈和凹槽外圈中与密封圈相适应的阶梯形密封槽内，所述的凹槽外圈由内向外为向下的斜坡面，并在斜坡面的下端设有储气槽；所述的凹槽中圈由内向外为向下的斜坡面；所述的凹槽中圈的斜坡面与水平面的夹角小于凹槽外圈的斜坡面与水平面的夹角。能使衬底的各个部分冷却温度不同，从而保证衬底蚀刻的均匀性；保证上托盘与衬底之间的密封性，有效防止离子对下托盘的蚀刻，延长下托盘的使用寿命。

主权项

一种各区域冷却温度不同的衬底托盘，包括上托盘（10）、下托盘（20）和通气孔（24），上托盘（10）设有中心凹位（13）、凹位中圈（12）和凹位外圈（11），中心凹位（13）置于上托盘（10）的圆心处；凹位中圈（12）置于中心凹位（13）的外侧，并围绕着中心凹位（13）；凹位外圈（11）置于凹位中圈（12）的外侧，并围绕着凹位中圈（12）；下托盘（20）设有的中心凹槽（23）、凹槽中圈（22）和凹槽外圈（21）的位置与上托盘（10）上的中心凹位（13）、凹位中圈（12）和凹位外圈（11）相对应；所述的中心凹槽（23）、凹槽中圈（22）和凹槽外圈（21）内各设有一个通气孔（24），其特征在于，还包括横截面为阶梯形的密封圈（27），所述密封圈（27）设置在中心凹槽（23）、凹槽中圈（22）和凹槽外圈（21）中与密封圈（27）相适应的阶梯形密封槽内，所述的凹槽外圈（21）由内向外为向下的斜坡面Ⅰ，并在斜坡面Ⅰ的下端处设有储气槽（25）；所述的凹槽中圈（22）由内向外为向下的斜坡面Ⅱ（26）；所述的凹槽中圈（22）的斜坡面Ⅱ（26）与水平面的夹角小于凹槽外圈（21）的斜坡面Ⅰ与水平面的夹角。