[实用新型]一种衬底单面漂洗装置有效
| 申请号： | 201320860244.8 | 申请日： | 2013-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN203737648U | 公开（公告）日： | 2014-07-30 |
| 发明（设计）人： | 陈添明;刘东;李春雷 | 申请（专利权）人： | 北京七星华创电子股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 孟宪功 |
| 地址： | 100015 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体集成电路制造领域，公开了一种衬底单面漂洗装置。该装载固定工具包括：第一漂洗槽、第二漂洗槽、第三漂洗槽、晾干槽和支架；所述第一漂洗槽、所述第二漂洗槽、所述第三漂洗槽和所述晾干槽的顶部开口处可拆卸地安装有漂洗槽盖，所述支架设置在所述第一漂洗槽、所述第二漂洗槽、所述第三漂洗槽和所述晾干槽的下方，所述漂洗槽盖采用上下双层式的结构。本实用新型所提供的衬底单面漂洗装置不仅结构简单，而且通过支撑柱的设置使得衬底与下层板有一定距离，避免衬底因为液体表面张力的作用，造成其贴合在下层板上。本实用新型成本低，使用过程具有简便、高效、精确的特点，适用范围广泛。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 衬底 单面 漂洗 装置 | ||
【主权项】：
一种衬底单面漂洗装置，其特征在于，包括：第一漂洗槽（1）、第二漂洗槽（2）、第三漂洗槽（3）、晾干槽（4）和支架（6）；所述第一漂洗槽（1）、所述第二漂洗槽（2）、所述第三漂洗槽（3）和所述晾干槽（4）的顶部开口处可拆卸地安装有漂洗槽盖（5），所述支架（6）设置在所述第一漂洗槽（1）、所述第二漂洗槽（2）、所述第三漂洗槽（3）和所述晾干槽（4）的下方，所述漂洗槽盖（5）采用上下双层式的结构。
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