[实用新型]用于晶体片镀膜的真空镀膜机有效
| 申请号： | 201320873393.8 | 申请日： | 2013-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN203653684U | 公开（公告）日： | 2014-06-18 |
| 发明（设计）人： | 郭军平;温海;窦会会;候应彬 | 申请（专利权）人： | 陕西华星电子集团有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 连云港润知专利代理事务所 32255 | 代理人： | 刘喜莲 |
| 地址： | 712000 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型是一种用于晶体片镀膜的真空镀膜机，包括底盘和罩盖，罩盖内形成真空腔室，在真空腔室内设有工件转架机构，工件转架机构的顶部设有晶体片镀膜工位，在工件转架机构上设有晶体片夹具，在工件转架机构内的底盘上方设有与晶体片镀膜工位配合的蒸镀机构，蒸镀机构包括并排设置的至少一个蒸发钼舟，蒸发钼舟通过蒸发夹具固定在底盘上，蒸发钼舟包括固定在蒸发夹具上的两个连接钼杆，在两个连接钼杆之间设有水平设置的活动钼舟。本实用新型真空镀膜机的蒸发钼舟设有活动钼舟，这样一个活动钼舟固定只放一种蒸镀材料，当前后需要蒸镀材料不一致时，可以更换另一个活动钼舟，提高了蒸镀效率，杜绝了清理不干净造成镀膜质量不合格的现象。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 晶体 镀膜 真空镀膜 | ||
【主权项】：
一种用于晶体片镀膜的真空镀膜机，包括设在工作台上的底盘，在底盘上罩有罩盖，罩盖与设在工作台上的提升装置相连，罩盖内形成真空腔室，在底盘的下方设有与真空腔室相连的抽真空机组，其特征在于：在真空腔室内设有工件转架机构，工件转架机构的顶部设有晶体片镀膜工位，在晶体片镀膜工位周边的工件转架机构上设有晶体片夹具，在工件转架机构内的底盘上方设有与晶体片镀膜工位配合的蒸镀机构，所述的蒸镀机构包括并排设置的至少一个蒸发钼舟，蒸发钼舟通过蒸发夹具固定在底盘上，蒸发钼舟包括固定在蒸发夹具上的两个连接钼杆，在两个连接钼杆之间设有水平设置的活动钼舟。
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