[实用新型]太阳能电池片叠加正反偏一次曝光取像装置有效
| 申请号： | 201320880963.6 | 申请日： | 2013-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN203774258U | 公开（公告）日： | 2014-08-13 |
| 发明（设计）人： | 李宗斌 | 申请（专利权）人： | 李宗斌 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 徐伟奇 |
| 地址： | 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 太阳能电池片叠加正反偏一次曝光取像装置,成像系统(1)与显示系统(7)连接，探针系统(3)与正反偏一次曝光控制系统(6)连接，显示系统(7)和正反偏一次曝光控制系统(6)连接。成像系统安装在太阳能电池正面一侧，太阳能电池片置于探针系统中，成像系统成像时正反偏一次曝光控制系统控制电源系统先后叠加正向电流与反向电压的偏置时间，同时切换相应的滤色片切换系统，使获得的图像上同时具有正偏缺陷和反偏漏电位置，便于对比分析，节省了时间，简化了操作，快速便捷实现对电池片的质量确认和工艺调整。 | ||
| 搜索关键词： | 太阳能电池 叠加 正反 一次 曝光 装置 | ||
【主权项】：
太阳能电池片叠加正反偏一次曝光取像装置, 包括成像系统(1)、探针系统(3)、正反偏一次曝光控制系统(6)和显示系统(7)；其特征在于，成像系统(1)与显示系统(7)连接，探针系统(3)与正反偏一次曝光控制系统(6)连接，显示系统(7)和正反偏一次曝光控制系统(6)连接。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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