[实用新型]一种研磨机

摘要

本实用新型公开了一种研磨机，在提高研磨精度的同时，避免了在研磨过程中研磨砂液以及细碎的晶片飞溅的现象，改善工作效果，提高工作效率。且在研磨加工结束后，打开进水装置即可实现自动清洗，减少了人工清洗的繁琐过程，大大提高了工作效率。

主权项

一种研磨机，包括研磨上盘、通过支柱固定支撑在研磨上盘上的研磨砂液导槽、研磨上盘提拉支架以及通过研磨上盘提拉支架以提拉研磨上盘的提拉装置，与研磨下盘，其特征在于，研磨上盘位于研磨下盘正上方，所述提拉支架上固定设有进水管，所述进水管位于研磨上盘上方，所述进水管一端连接有进水装置，所述进水管上设置有多个喷头，所述喷头上设置有多个喷嘴，包括中心喷嘴，内侧喷嘴及外侧喷嘴，所述中心喷嘴，内侧喷嘴及外侧喷嘴在喷头右侧自中心向外呈“十”字型均匀分布，所述中心喷嘴与喷头所成夹角α为90度，所述内侧喷嘴与喷头所成夹角β为60度，所述外侧喷嘴与喷头所成夹角γ为30度；所述研磨下盘上表面沿周向均匀分布有多条“S”型刀片，所述“S”型刀片间所成角度θ为30度；所述研磨下盘边缘沿圆周设置有多个导流孔，所述导流孔在研磨下盘内呈倾斜设置，所述导流孔与研磨下盘下表面所成角度δ为45度，所述导流孔上孔口设有封口件；所述研磨下盘外侧设有环形挡块，所述环形挡块与研磨下盘连接处设有密封构件，所述密封构件由两个“N”型密封环与一个“Z”型密封环组成，呈多重密封结构，三个密封环间间隙构成迷宫密封。