[实用新型]一种三方位联动式激光刻蚀平台有效
| 申请号： | 201320893366.7 | 申请日： | 2013-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN203636199U | 公开（公告）日： | 2014-06-11 |
| 发明（设计）人： | 施心星;龚楷峰;刘俊辉;邵西河 | 申请（专利权）人： | 苏州镭明激光科技有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/08 | 分类号： | B23K26/08;B23K26/362 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市吴中区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种三方位联动式激光刻蚀平台，包括X轴传送单元和Y轴传送单元，所述X轴传送单元沿垂直方向设置，所述Y轴传送单元沿水平方向设置，其中，所述X轴传送单元上安装有Z轴传送单元，所述X轴传送单元上设有第一光栅尺和第一光电限位开关，所述Y轴传送单元上设有第二光栅尺和第二光电限位开关，所述Z轴传送单元上设有第三光电限位开关，所述X轴传送单元、Y轴传送单元和Z轴传送单元均与伺服电机相连。本实用新型提供的三方位联动式激光刻蚀平台，能够大大降低制作成本，易于维护维修，而且保证设备的响应速度及精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 方位 联动 激光 刻蚀 平台 | ||
【主权项】：
一种三方位联动式激光刻蚀平台，包括X轴传送单元和Y轴传送单元，所述X轴传送单元沿垂直方向设置，所述Y轴传送单元沿水平方向设置，其特征在于，所述X轴传送单元上安装有Z轴传送单元，所述X轴传送单元上设有第一光栅尺和第一光电限位开关，所述Y轴传送单元上设有第二光栅尺和第二光电限位开关，所述Z轴传送单元上设有第三光电限位开关，所述X轴传送单元、Y轴传送单元和Z轴传送单元均与伺服电机相连。
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