[实用新型]固体薄膜纳米压痕连续测量仪

摘要

固体薄膜纳米压痕连续测量仪，包括底座、水平气动定位装置、Z轴定位装置、显微镜瞄准装置，所述的水平气动定位装置包括气浮定位平台底座、兼做X轴气动定位平台的导轨、Y轴气动定位平台、电机轴座、电机、电机推杆、气浮滑块和顶板；所述的Z轴定位装置包括Z轴加载块、过渡板、滑台、加载块压箱、步进电机、丝杆；所述的显微镜瞄准装置包括显微镜本体、线圈磁铁驱动器、压针和用于探测压针位移的位移传感器，所述的压针与所述的线圈磁铁驱动器电连接。本实用新型的有益效果是：适用于测量薄膜、镀层、微机电系统中的材料等微小体积材料力学性能；可以测定在纳米尺度上测量材料的各种力学性质。

主权项

固体薄膜纳米压痕连续测量仪，其特征在于：包括底座、水平气动定位装置、Z轴定位装置、显微镜瞄准装置，所述的水平气动定位装置包括气浮定位平台底座、兼做X轴气动定位平台的导轨、Y轴气动定位平台、电机轴座、电机、电机推杆、气浮滑块和顶板，所述的气浮定位平台底座固定在所述的底座上，所述的电机轴座和所述的导轨均安装在所述的气浮定位平台底座上；所述的气浮滑块与所导轨内侧贴合，并且每根导轨对应一个气浮滑块；所述的电机的输出轴通过电机推杆与电机轴连接；所述的顶板铺设在导轨上方，并且所述的顶板与电机轴固定；所述的顶板上安装Y轴气动定位平台；所述的Z轴定位装置包括Z轴加载块、过渡板、滑台、加载块压箱、步进电机、丝杆，所述的滑台下端安装在所述的底座上，所述的过渡板安装在所述的滑台上端的丝杆上，并且所述的丝杆与所述的步进电机的输出轴相连；所述的显微瞄准装置和所述的加载块压箱安装在所述的过渡板上，并且所述的显微瞄准装置的瞄准镜指向所述的水平气动定位装置；所述的Z轴加载块安装在所述的加载块压箱的加载块支撑体上；所述的显微镜瞄准装置安装在所述的加载块压箱的底部；所述的显微镜瞄准装置包括显微镜本体、线圈磁铁驱动器、压针和用于探测压针位移的位移传感器，所述的压针与所述的线圈磁铁驱动器电连接。