[发明专利]一种光调制器及平面光子器件模组

摘要

本发明提供了一种光调制器，其包括聚合物波导、至少一个第一电容器极板和至少一个第二电容器极板，所述聚合物波导包括芯层，所述第一电容器极板和第二电容器极板相互分离且均延伸至所述芯层内，在横截面的径向上，所述第一电容器极板的投影于所述第二电容器的投影至少部分重合，所述第一电容器极板和/或第二电容器极板采用石墨烯薄膜制成，在所述第一电容器极板与第二电容器极板之间施加调制电压信号，改变第一电容器极板和/或第二电容器极板内的石墨烯光学吸收系数，从而实现对通过聚合物波导的光进行调制。本发明的光调制器具有较小集成尺寸，并具有较低的功耗及较大的调制带宽。本发明还提供了一种包括所述光调制器的平面光子器件模组。

主权项

1.一种光调制器，其包括聚合物波导、至少一个第一电容器极板和至少一个第二电容器极板，所述聚合物波导包括芯层，所述第一电容器极板和第二电容器极板相互分离且均延伸至所述芯层内，在横截面的径向上，所述第一电容器极板的投影与所述第二电容器极板的投影至少部分重合，所述第一电容器极板和/或第二电容器极板采用石墨烯薄膜制成，在所述第一电容器极板与第二电容器极板之间施加调制电压信号，改变第一电容器极板和/或第二电容器极板内的石墨烯光学吸收系数，从而实现对聚合物波导中的导波光进行调制；所述聚合物波导还包括上包层和下包层，所述上包层和下包层从所述芯层的相对两侧包覆所述芯层，所述芯层的部分埋入于所述下包层内，其余部分埋入于所述上包层内；所述第一电容器极板部分位于所述上包层和下包层内，其余部分延伸至所述芯层内；第二电容器极板部分位于所述上包层和下包层内，其余部分延伸至所述芯层内；所述第一电容器极板与第一接触电极的连接处位于所述上包层及下包层内；所述第二电容器极板与第二接触电极的连接处位于所述上包层及下包层内。