[发明专利]支撑销及基板处理装置有效
| 申请号： | 201380002893.7 | 申请日： | 2013-10-04 |
| 公开（公告）号： | CN104704940B | 公开（公告）日： | 2017-03-08 |
| 发明（设计）人： | 内海智仁 | 申请（专利权）人： | 雅马哈发动机株式会社 |
| 主分类号： | H05K13/04 | 分类号： | H05K13/04;F16B19/02 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司11219 | 代理人： | 穆德骏,谢丽娜 |
| 地址： | 日本静冈*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 该支撑销（9）在通过磁力而被固定于底座板（3）的状态下对基板（200）从背面进行支撑，该支撑销具备固定部（91），能够固定于底座板；磁铁部件（95），配置于固定部的内部并且构成为在固定部的内部上升和下降，用于利用磁力将固定部固定于底座板；及磁性体部件（94），配置于磁铁部件的上方，并通过在固定部的内部上升而利用磁力使磁铁部件上升来解除固定部与底座板被固定的固定状态。 | ||
| 搜索关键词： | 支撑 处理 装置 | ||
【主权项】：
一种支撑销（9），在通过磁力而被固定于底座板（3）的状态下对基板（200）从背面进行支撑，所述支撑销的特征在于，具备：固定部（91），能够固定于所述底座板；磁铁部件（95），配置于所述固定部的内部并且构成为在所述固定部的内部上升和下降，用于利用磁力将所述固定部固定于所述底座板；及磁性体部件（94），配置于所述磁铁部件的上方，并通过在所述固定部的内部上升而利用磁力使所述磁铁部件上升来解除所述固定部与所述底座板被固定的固定状态。
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