[发明专利]一种纳米粒子组装三维结构的制造方法

摘要

本发明涉及使用穿孔图案掩模以纳米粒子组装三维结构的制造方法。本发明包括（1）通过在接地反应器中将具有宽度（w）的穿孔图案的掩模设置在将要刻图的衬底之上的一定距离（d）处，且在所述衬底上施加电压以形成电动聚焦透镜的步骤；和（2）将带电纳米粒子引入，并且引导所述带电纳米粒子通过所述穿孔图案到达衬底，使得所述带电纳米粒子以三维形状聚焦和吸附到所述衬底上的步骤。根据本发明，可以高精度和高效率制造具有不同形状的三维结构，且不会产生噪声图。

主权项

一种纳米粒子组装三维结构的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：（i）在接地反应器中，将具有穿孔图案的掩模设置在将要刻图的衬底之上的一定距离处，所述穿孔图案与预定图案对应；然后在所述衬底上施加电压，以形成电动聚焦透镜；（ii)将带电纳米粒子引入所述反应器中，并且引导所述带电纳米粒子通过所述穿孔图案到达衬底，使得所述带电纳米粒子以三维形状选择地吸附到所述衬底上。