[发明专利]多步骤离子注入有效
| 申请号： | 201380003317.4 | 申请日： | 2013-02-12 |
| 公开（公告）号： | CN104145320B | 公开（公告）日： | 2018-02-02 |
| 发明（设计）人： | D·N·麦麦陵;S·A·迈尔斯;D·韦伯 | 申请（专利权）人： | 苹果公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;C30B31/22 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所11038 | 代理人： | 李英 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文描述了用于强化蓝宝石部件的系统和方法。一个实施方式可采用方法的形式，其包括确定蓝宝石组件的第一表面相对于离子注入设备的方向，并且执行第一注入步骤。该注入步骤可包括在该蓝宝石组件的第一表面引导离子以将它们嵌入第一表面下。该系统和方法也可包括如下步骤中的一个或多个加热蓝宝石组件以将注入的离子扩散进入蓝宝石组件的更深层；冷却蓝宝石组件；和执行至少第二注入步骤，在蓝宝石组件的第一表面引导离子以将离子嵌入第一表面下。 | ||
| 搜索关键词： | 步骤 离子 注入 | ||
【主权项】：
一种方法，包括：确定蓝宝石组件的表面相对于离子注入设备的方向；执行第一注入步骤，该第一注入步骤包括在蓝宝石组件的该表面引导离子，将该离子嵌入到该表面下；加热蓝宝石组件，以使注入的离子扩散进入蓝宝石组件的更深层；冷却蓝宝石组件；执行至少第二注入步骤，该第二注入步骤包括在蓝宝石组件的该表面引导离子，将该离子嵌入到该表面下，以及用铝原子轰击该表面，以代替通过第一或第二注入步骤置换的原子。
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