[发明专利]等离子体反应器及利用该反应器的等离子体点火方法有效
| 申请号： | 201380004082.0 | 申请日： | 2013-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN104025720A | 公开（公告）日： | 2014-09-03 |
| 发明（设计）人： | 崔相敦 | 申请（专利权）人： | 株式会社新动力等离子体 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 谢顺星;王莹 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种等离子体反应器及利用该反应器的等离子体点火方法。本发明的等离子体反应器包括：多个磁芯，具有初级线圈；交流电源供给源，用于向所述初级线圈供给交流电力；多个等离子体腔室主体，设置有所述磁芯，电压直接感应，从而感应产生感应电动势；及多个浮动腔室，通过绝缘区域与所述等离子体腔室主体连接，并从所述等离子体腔室主体间接传导感应电动势，其中，所述等离子体腔室主体与所述浮动腔室在内部具有用于等离子体放电的一个放电路径，根据从所述交流电源供给源供给的交流电力的相位变化而在所述等离子体腔室主体与所述浮动腔室之间产生电压差，根据该电压差实现等离子体点火。根据本发明的等离子体反应器及利用该反应器的等离子体点火方法，在供给与以往相比相对低的电压来产生等离子体的情况下，也能够进行等离子体放电，因此能够供给低价产品，并能够使电弧放电引起的等离子体反应器的损伤最小化。并且，供给与以往相同的电压的情况下，在气体流动流量压力低的状态下，也能够容易进行用于等离子体放电的点火。并且，供给与以往相同的电压的情况下，在低温下也能够容易进行用于等离子体放电的点火。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 反应器 利用 点火 方法 | ||
【主权项】：
一种等离子体反应器，其特征在于，包括：磁芯，具有变压器初级线圈；交流电源供给源，用于向卷绕于所述磁芯的变压器初级线圈供给交流电力；等离子体腔室主体，设置有所述磁芯，通过所述磁芯，电压直接感应，从而感应产生感应电动势；及浮动腔室，通过绝缘区域与所述等离子体腔室主体连接，从所述等离子体腔室主体间接传导感应电动势，其中，根据从所述交流电源供给源供给的交流电力的相位变化而在所述等离子体腔室主体与所述浮动腔室之间产生电压差，根据该点压差发生等离子体点火，并供给至工艺腔室。
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