[发明专利]用于测量两个空间上分离的元件之间的角度的方法

摘要

本发明涉及一种用于测量两个空间上分离的元件(1,2)之间的角度的方法，具有以下步骤a)制备具有多个干涉图案的多重全息图，至少两个干涉图案具有到全息图平面上的物光波的不同的入射角，干涉图案的入射角被存储为机器可读数据；b)将多重全息图布置在第一元件上的第一元件平面中；c)使用参考光波照射多重全息图；d)将光检测器布置在第二元件上的第二元件平面中；e)使用光检测器来检测在干涉图案上折射的参考光波；f)从检测到的折射参考光波创建强度图案；g)将存储为机器可读数据的入射角分配给强度图案；h)根据分配的入射角来计算第一元件平面与第二元件平面之间的角度。

主权项

一种用于测量两个空间上分离的元件(1,2)之间的角度的方法，所述方法包括以下步骤：‑a)提供具有多个独立干涉图案(31,31',31)的多重全息图(3)，其中，至少两个干涉图案(31,31',31)在全息图平面(30)上具有物光波(401)的不同的入射角(32,32',32)，所述入射角(32,32',32)被以计算机可读方式存储为数据；‑b)将所述多重全息图(3)布置在第一元件(1)上的第一元件平面(10)中；‑c)使用参考光波(400)来照射所述多重全息图(3)；‑d)将光检测器(6)布置在第二元件(2)的第二元件平面(20)中；‑e)使用所述光检测器(6)来获得在干涉图案(31,31',31)上衍射的参考光波(400')；‑f)根据所获得的衍射参考光波(400')形成强度图案(61,61',61)；‑g)将存储为数据的计算机可读入射角(32,32',32)分配给所述强度图案(61,61',61)；以及‑h)根据所分配的入射角(32,32',32)来计算所述第一元件平面(10)和所述第二元件平面(20)之间的角度。