[发明专利]负型感光性树脂组合物有效
| 申请号： | 201380004941.6 | 申请日： | 2013-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN104040432B | 公开（公告）日： | 2018-09-14 |
| 发明（设计）人： | 畑中真;内山芽育 | 申请（专利权）人： | 日产化学工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/038 | 分类号： | G03F7/038;C08F220/58;G02B5/20;G03F7/004;H01L51/50;H05B33/04;H05B33/22 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 段承恩;田欣 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的课题是提供一种负型感光性树脂组合物，所述树脂组合物能够厚膜化，即使在曝光前也不具有粘性，能够通过碱显影以高分辨率形成图案，所形成的涂膜透明性高且在后烘烤后收缩小。解决手段是含有下述(A)成分、(B)成分和(C)溶剂的负型感光性树脂组合物。(A)成分：由单体混合物共聚而成的共聚物，所述单体混合物至少含有(i)N‑烷氧基甲基(甲基)丙烯酰胺和(ii)具有碱溶性基团的单体；(B)成分：光产酸剂；(C)溶剂。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 | ||
【主权项】：
1.一种负型感光性树脂组合物，其含有下述(A)成分、(B)成分和(C)溶剂，(A)成分：由单体混合物共聚而成的共聚物，所述单体混合物至少含有(i)N‑烷氧基甲基(甲基)丙烯酰胺和(ii)具有碱溶性基团的单体，(B)成分：光产酸剂，(C)溶剂，用于(A)成分的(ii)具有碱溶性基团的单体为马来酰亚胺。
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