[发明专利]感光性树脂组合物、感光性元件、抗蚀剂图案的形成方法以及印刷配线板的制造方法在审
申请号: | 201380004949.2 | 申请日: | 2013-02-14 |
公开(公告)号: | CN104040431A | 公开(公告)日: | 2014-09-10 |
发明(设计)人: | 矶纯一;千叶达男;石充;薄叶爱美 | 申请(专利权)人: | 日立化成株式会社 |
主分类号: | G03F7/033 | 分类号: | G03F7/033;G03F7/004;G03F7/031;H05K3/06;H05K3/18 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 钟晶;於毓桢 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明涉及一种感光性树脂组合物,其含有粘合剂聚合物、光聚合性化合物和光聚合引发剂,其中,粘合剂聚合物具有基于(甲基)丙烯酸乙酯的结构单元,并且基于(甲基)丙烯酸乙酯的结构单元的含量相对于粘合剂聚合物和光聚合性化合物的总量小于9质量%。 | ||
搜索关键词: | 感光性 树脂 组合 元件 抗蚀剂 图案 形成 方法 以及 印刷 线板 制造 | ||
【主权项】:
一种感光性树脂组合物,其含有粘合剂聚合物、光聚合性化合物和光聚合引发剂,所述粘合剂聚合物具有基于(甲基)丙烯酸乙酯的结构单元,并且所述基于(甲基)丙烯酸乙酯的结构单元的含量相对于所述粘合剂聚合物和所述光聚合性化合物的总量小于9质量%。
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