[发明专利]用于实时地监测穿过质量流量控制器的流量的系统和方法在审
| 申请号： | 201380005938.6 | 申请日： | 2013-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN104114982A | 公开（公告）日： | 2014-10-22 |
| 发明（设计）人： | 丁军华 | 申请（专利权）人： | MKS仪器公司 |
| 主分类号： | G01F25/00 | 分类号： | G01F25/00;G05D7/06 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 张伟;王英 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 质量流量控制器包括：第一流量计，其被构造和布置成测量穿过质量流量控制器的质量的流率；第二流量计，其被构造和布置成测量穿过质量流量控制器的质量的流率；控制阀，其被构造和布置成响应于根据如流量计之一所测量的流率而产生的控制信号来控制穿过质量流量控制器的质量的流率；以及系统控制器，其被构造和布置成产生控制信号，并在如第一流量计所测量的质量的流率和如第二流量计所测量的质量的流率之间的差异超过阈值时提供指示。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 实时 监测 穿过 质量 流量 控制器 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种质量流量控制器，包括：第一流量计，其被构造和布置成测量穿过所述质量流量控制器的质量的流率；第二流量计，其被构造和布置成测量穿过所述质量流量控制器的质量的流率；控制阀，其被构造和布置成响应于根据由所述流量计之一所测量的流率而产生的控制信号来控制穿过所述质量流量控制器的质量的流率；以及系统控制器，其被构造和布置成产生所述控制信号，并在由所述第一流量计所测量的质量的流率和由所述第二流量计所测量的质量的流率之间的差异超过阈值时提供指示。
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