[发明专利]多样性操作与有效RF电源耦合用的带状天线有效
| 申请号： | 201380006416.8 | 申请日： | 2013-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN104081492A | 公开（公告）日： | 2014-10-01 |
| 发明（设计）人： | 科斯特尔·拜洛;奎格·钱尼 | 申请（专利权）人： | 瓦里安半导体设备公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 臧建明 |
| 地址： | 美国麻萨诸塞*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供一种电浆制造装置及方法，其容许在E及H操作模式之间的切换，以及也增加RF电源对电浆的耦合效率。此装置可藉由对于特定功率输出约1.25-1.65的因子来增加电浆密度。由于其高效率，因而可同时减免其冷却天线的需求。使用增加对特定体积的总表面积的新式的天线几何形状，藉以利用与RF电流相关的表面效应。在一些实施例中，具有单一循环的天线减少邻近效应。天线亦可嵌入于亚铁盐材料，藉以更进一步增进其效能。 | ||
| 搜索关键词： | 多样性 操作 有效 rf 电源 耦合 带状 天线 | ||
【主权项】：
一种电浆产生装置，其特征在于包括：腔室，具有介电质窗，天线，接邻所述介电质窗，所述天线由材料所建构，所述天线具有厚度、宽度与截面积，所述截面积为所述宽度与所述厚度所定义的乘积；以及电源供应器，操作于频率以及通信于所述天线，其中，所述材料与所述频率决定出表层深度，所述表层深度在所述天线中负载大部分的电流，以及其中所述表层深度与所述宽度的乘积大于0.001乘以所述天线的所述截面积。
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