[发明专利]电容式微机械换能器及制造所述电容式微机械换能器的方法有效
| 申请号： | 201380006576.2 | 申请日： | 2013-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN104066521B | 公开（公告）日： | 2017-07-11 |
| 发明（设计）人： | P·迪克森;R·毛奇斯措克;K·卡拉卡亚;J·H·克鲁特威克;B·马赛利斯;M·米尔德 | 申请（专利权）人： | 皇家飞利浦有限公司 |
| 主分类号： | B06B1/02 | 分类号： | B06B1/02 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司72002 | 代理人： | 李光颖,王英 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种制造电容式微机械换能器(100)特别是CMUT的方法，所述方法包括在基底(1)上沉积第一电极层(10)；在所述第一电极层(10)上沉积第一介电薄膜(20)；在所述第一介电薄膜(20)上沉积牺牲层(30)，所述牺牲层(30)是可移除的，以形成所述换能器的空腔(35)；在所述牺牲层(30)上沉积第二介电薄膜(40)；并且，在所述第二介电薄膜(40)上沉积第二电极层(50)，其中，所述第一介电薄膜(20)和/或所述第二介电薄膜(40)包括包括氧化物的第一层、包括高k材料的第二层以及包括氧化物的第三层，并且其中，通过原子层沉积来执行所述沉积步骤。本发明还涉及一种通过这样的方法来制造的电容式微机械换能器(100)，特别是CMUT。 | ||
| 搜索关键词： | 电容 式微 机械 换能器 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种制造电容式微机械换能器(100)的方法，所述方法包括：‑在基底(1)上沉积第一电极层(10)，‑在所述第一电极层(10)上沉积第一介电薄膜(20)，‑在所述第一介电薄膜(20)上沉积牺牲层(30)，所述牺牲层(30)是能够移除的，以形成所述换能器的空腔(35)，‑在所述牺牲层(30)上沉积第二介电薄膜(40)，并且‑在所述第二介电薄膜(40)上沉积第二电极层(50)，其中，所述第一介电薄膜(20)和/或所述第二介电薄膜(40)包括：包括氧化物的第一层、包括具有等于8或更大的介电常数的高k材料的第二层以及包括氧化物的第三层，并且其中，所述第二层被夹在所述第一层和所述第三层之间，并且所述沉积的步骤是通过原子层沉积来执行的。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于皇家飞利浦有限公司，未经皇家飞利浦有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201380006576.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
