[发明专利]无定形碳膜、无定形碳膜的形成方法、具备无定形碳膜的导电性构件和燃料电池用隔板有效
申请号: | 201380007324.1 | 申请日: | 2013-01-25 |
公开(公告)号: | CN104080945A | 公开(公告)日: | 2014-10-01 |
发明(设计)人: | 伊关崇;中西和之;小泽康弘;上田直树;小泉雅史 | 申请(专利权)人: | 株式会社丰田中央研究所;丰田自动车株式会社 |
主分类号: | C23C16/26 | 分类号: | C23C16/26;C01B31/02;C23C16/50;H01M8/02;H01M8/10 |
代理公司: | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人: | 刘航;段承恩 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 一种无定形碳膜,以碳为主成分,包含30at%以下的氢、20at%以下的氮以及3at%以下的氧,且在将该碳的总量设为100at%时,具有sp2杂化轨道的碳量为70at%以上且小于100at%,所述氢、氮以及氧的含量都不包括0at%。氮和氧在膜表面侧浓化而存在,利用X射线光电子光谱法从表层检测到的氧的含有率为4at%以上15at%以下、氮的含有率为10at%以上30at%以下。无定形碳膜兼具导电性和亲水性,显示出适合于燃料电池用隔板等的表面性状。 | ||
搜索关键词: | 无定形碳 形成 方法 具备 导电性 构件 燃料电池 隔板 | ||
【主权项】:
一种无定形碳膜,其以碳为主成分,包含30at%以下的氢、20at%以下的氮以及3at%以下的氧,且在将该碳的总量设为100at%时,具有sp2杂化轨道的碳量为70at%以上且小于100at%,所述氢、氮以及氧的含量都不包括0at%,所述无定形碳膜的特征在于,氮和氧在膜表面侧浓化而存在,采用X射线光电子光谱法从表层检测到的氧的含有率为4at%以上15at%以下、氮的含有率为10at%以上30at%以下。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的