[发明专利]用于分离非金属材料的系统与方法

摘要

使用被转变成一划痕射束及一分裂射束的一单一激光束来分离非金属材料。一系统包含用于产生一激光束的一单一激光源及用于将该激光束转变成具有一第一平均功率的一划痕射束及具有第二平均功率的一分裂射束的一射束分离器。该射束分离器沿着一第一路径将该划痕射束导引至一非金属基板上的一划痕线，并且在与该划痕射束间隔开的一位置处沿着一第二路径将该分裂射束导引至该非金属基板上。该划痕射束沿着该划痕线快速地加热该非金属基板。一淬火子系统将一股冷却流体施加至该非金属基板以沿着由该划痕射束加热的该划痕线传播一微裂纹。该分裂射束快速地再加热由该股冷却流体淬火的非金属基板以沿着该微裂纹分离该非金属基板。

主权项

一种用于分离非金属基板的系统，其特征在于，该系统包括：一单一激光源，用于产生一激光束；一射束分离器，用于将该激光束转变成包括一第一平均功率的一划痕射束及包括第二平均功率的一分裂射束，该射束分离器沿着一第一路径将该划痕射束导引至一非金属基板上的一划痕线，并且在与该划痕射束间隔开的一位置处，沿着一第二路径将该分裂射束导引至该非金属基板，该划痕射束沿着该划痕线快速地加热该非金属基板；及一淬火子系统，用于将一股冷却流体施加至该非金属基板以沿着由该划痕射束加热的该划痕线传播一微裂纹；其中该分裂射束快速地再加热由该股冷却流体淬火的该非金属基板以沿着该微裂纹分离该非金属基板。