[发明专利]具有快速功率控制的二氧化碳激光器

摘要

本发明涉及一种能实现快速功率调制、尤其能实现高效Q开关的二氧化碳激光器。其核心思路是将谐振器划分为主要包含激活介质(1)的高功率支路以及低功率反馈支路(14)，将用于光束整形的功率敏感元件尤其是调制器布置在低功率反馈支路之中，适当布置偏振分束器(5)和λ/4移相器(2)就能实现。可以自由调整这两个元件之间的角度因此能够特别灵活地实现不同的工作模式，尤其能优化脉冲产生期间的反馈率。

主权项

二氧化碳激光器，具有在两端利用谐振器端镜（3，4）封闭的含有激活介质（1）的谐振器，并且具有用于供应泵送能量的电极，其中正交于谐振器端镜（3，4）延伸，在谐振器轴线（11）方向将所述谐振器在谐振器端镜（3，4）之间划分为高功率支路和反馈支路（14），其中通过用来将谐振器中产生的激光束（7）的一部分输出耦合的偏振分束器（5）将高功率支路和反馈支路（14）相互分开，其中将激活介质（1）和 λ/4 移相器（2）布置在第一谐振器端镜（3）和偏振分束器（5）之间的高功率支路之中，其中将光束整形元件（15）布置在第二谐振器端镜（4）和偏振分束器（5）之间的反馈支路（14）之中，其中所述 λ/4 移相器（2）和偏振分束器（5）能够相对彼此以角度 φ 旋转，而且是以平行于谐振器轴线（11）的至少一个旋转分量围绕旋转轴线或者围绕谐振器轴线（11）旋转，其中所述谐振器轴线（11）直线延伸，或者被偏振分束器（5）折弯地伸展，其中能通过作为光束整形元件（15）的波长选择元件替换第二个谐振器端镜（4），并且其中所述光束整形元件（15）是功率调制元件。