[发明专利]MEMS器件以及具有投影功能的电子设备

摘要

在MEMS器件(1)中，第一驱动部(40)被分割成第一驱动部分(41)和第二驱动部分(42)。第二驱动部(50)被分割成第三驱动部分(51)和第四驱动部分(52)。通过对第一驱动部分、第二驱动部分、第三驱动部分以及第四驱动部分分别相互独立地进行驱动控制，来使光学部件(10)倾斜。

主权项

一种MEMS器件，其特征在于，具有：光学部件，以及在第一方向上延伸并且沿与所述第一方向大致垂直的第二方向配置的第一驱动部和第二驱动部，所述第一驱动部和所述第二驱动部在所述第一方向上分割为多个，通过对所述第一驱动部和所述第二驱动部的被分割的各自相互独立地进行驱动控制，使所述光学部件倾斜；还具有连接所述第一驱动部和所述第二驱动部的第一连接部，所述第一驱动部被分割成所述第一方向的一侧的第一驱动部分和所述第一方向的另一侧的第二驱动部分，所述第二驱动部被分割成所述第一方向的一侧的第四驱动部分和经由所述第一连接部与所述第二驱动部分连接的所述第一方向的另一侧的第三驱动部分，通过对所述第一驱动部分、所述第二驱动部分、所述第三驱动部分以及所述第四驱动部分分别相互独立地进行驱动控制，使所述光学部件在2个轴方向上分别围绕第一旋转轴线以及第二旋转轴线倾斜，所述第一旋转轴线以及第二旋转轴线分别在所述第一方向以及所述第二方向上延伸，所述第一方向以及所述第二方向在同一平面内相互大致垂直；通过对所述第一驱动部分和所述第二驱动部分进行大致相同的驱动控制，并对所述第三驱动部分和所述第四驱动部分进行大致相同的驱动控制，来使所述光学部件围绕所述第一旋转轴线倾斜，或者通过对所述第一驱动部分和所述第三驱动部分进行大致相同的驱动控制，并对所述第二驱动部分和所述第四驱动部分进行大致相同的驱动控制，使所述光学部件围绕所述第二旋转轴线倾斜。