[发明专利]利用氧化铝层钝化太阳能电池的方法和装置

摘要

本发明涉及一种利用AlOx层(12)，特别是Al2O3层涂覆基板(10)的方法，包括以下方法步骤(a)提供具有反应室(22)和至少一个RF电感(24)的电感耦合等离子体源(ICP源)(20)，(b)将铝化合物，优选为三甲基铝(TMA)引入ICP源，(c)将作为反应气体的氧和/或氧化合物引入ICP源，并且将能量与ICP源电感耦合以形成等离子体(30)，以及(d)在基板上沉积AlOx层。本发明还涉及一种用于在基板上沉积薄层，特别是用于实施上述方法的涂覆部件。涂覆部件包括具有反应室(22)和至少一个RF电感(24)的电感耦合等离子体源(ICP)(20)，在反应室中用于布置基板的基板支架，以及用于将铝化合物和反应气体引入ICP源的通道(26，28)。基板在反应室中布置成使得待涂覆的基板表面面向ICP源。

主权项

一种利用AlOx层(12)涂覆基板(10)的方法，包括以下方法步骤：(a)提供包括反应室(22)和至少一个RF电感(24)的电感耦合等离子体源(ICP源)(20)，从而使产生等离子体所需的能量直接耦合到所述反应室，(b)将铝化合物引入所述ICP源(20)，(c)将作为反应气体的氧和/或氧化合物引入所述ICP源，并且将能量与所述ICP源(20)电感耦合以形成等离子体(30)，以及(d)在所述基板(10)上沉积所述AlOx层(12),(e)提供包括第二反应室和第二至少一个RF电感的第二ICP源，其中所述第二反应室紧挨着所述第一反应室布置，(f)将硅化合物和反应气体引入所述第二ICP源，并且将能量电感耦合到所述第二ICP源，(g)在所述AlOx层之上沉积一含硅层。