[发明专利]光学测量系统、光学测量方法及光学测量标尺

摘要

本发明的实施方式包括多种不同类型的光学测量标尺、光学测量装置和用所述光学测量标尺测量位置的方法。在一个实施方式中，一个光学测量标尺包括一个基底和多个标记单元，每一个标记单元固定于标尺的预定位置。每一个标记单元包括多个光学检测的标记元素，每个标记元素有一个元素值，而且每一个元素值被在标记单元内的标记元素的元素值的排列中的任一组数字定义，每一个单元值对应一个物理量。在基底上设有第一方向。物理量包括沿第一方向的在参考位置和预定位置之间的第一距离。

主权项

一种光学测量标尺，其特征在于，所述光学测量标尺包括：一个基底，所述基底定义了第一方向；多个标记单元，每一个所述标记单元设置于所述基底的一个预定位置，每一个所述标记单元包括多个光学检测的标记元素，每一个所述标记元素有一个被其光学特性定义的元素值，其中，每一个所述标记单元有一个被在所述标记单元中的每一个标记元素的元素值的排列中的任一组数字确定的单元值，每一个所述单元值对应一个物理量；其中，所述物理量包括沿所述第一方向的在参考位置和所述预定位置之间的第一距离；其中，所述基底定义一个与所述第一方向交叉的第二方向，其中在每一个所述标记单元中的至少二个所述标记元素排列于第一对准行内，所述第一对准行平行于所述第二方向；其中，每一个所述标记单元进一步包括至少二个沿所述第二方向排列的在第二对准行中的标记元素，所述第二对准行和所述第一对准行相隔一定的距离。