[发明专利]高纯度钛锭、其制造方法及钛溅射靶有效

专利信息
申请号: 201380009260.9 申请日: 2013-02-13
公开(公告)号: CN104114303A 公开(公告)日: 2014-10-22
发明(设计)人: 八木和人;日野英治;新藤裕一朗 申请(专利权)人: 吉坤日矿日石金属株式会社
主分类号: B22D21/06 分类号: B22D21/06;C22B9/22;C22B34/12;C22C1/02;C22C14/00;C23C14/34
代理公司: 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 代理人: 王海川;穆德骏
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 一种钛锭,其为除了添加元素和气体成分以外的纯度为99.99质量%以上的高纯度钛锭,其特征在于,含有合计0.1~100质量ppm的选自S、P或B中的一种以上非金属元素作为添加成分,在同一锭内的上部、中间部、底部的非金属元素的偏差为±200%以内。一种钛锭的制造方法,所述钛锭含有0.1~100质量ppm的非金属元素,其特征在于,在制造除了添加元素和气体成分以外的纯度为99.99质量%以上的高纯度钛锭时,将作为非金属元素的S、P或B以金属间化合物或母合金的形式添加到熔炼的钛中。本发明的课题在于提供高纯度钛,其中,通过添加选自S、P或B中的一种以上非金属元素,减少了锭内及锭间的非金属元素含量的偏差,并且具有均匀的组织且提高了强度。
搜索关键词: 纯度 制造 方法 溅射
【主权项】:
一种钛锭,其为除了添加元素和气体成分以外的纯度为99.99质量%以上的高纯度钛锭,其特征在于,含有合计0.1~100质量ppm的选自S、P或B中的一种以上非金属元素作为添加成分,在同一锭内的上部、中间部、底部的非金属元素的偏差为±200%以内。
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